基于tyman-green干涉儀，測(cè)量表面的面型和傾斜。
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%0A 光路涉及兩個(gè)BS，兩個(gè)PBS，一個(gè)PSD，幾個(gè)PD，一個(gè)
CCD，還有很多的Mirror和lenses，包括圓
偏振光，線偏振光，HeNe laser。
o5@P>\ u> 以前用
zemax都是用來設(shè)計(jì)
鏡頭和
成像系統(tǒng)，第一次設(shè)計(jì)
干涉光路，求大神的指導(dǎo)。目前看了好多幫助
教程，但是毫無進(jìn)展。
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