經(jīng)過(guò)兩三年的光學(xué)設(shè)計(jì)學(xué)習(xí)，個(gè)人還是覺(jué)得ZEMAX是比較容易上手的工具，對(duì)于絕大多數(shù)常見(jiàn)光學(xué)系統(tǒng)，ZEMAX都能滿足應(yīng)用需要，而且本人也通過(guò)自己編寫(xiě)程序，作為動(dòng)態(tài)鏈接，成功擴(kuò)展了ZEMAX的功能。但是，ZEMAX在處理高數(shù)值投影光刻物鏡時(shí)卻顯示出了一定的缺陷，仿真計(jì)算速度不夠快，仿真精度不夠理想。