對于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。
5@5="lNjS 正常流量情況下,
:g_ +{4 冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應力大,不利于鍍厚膜。
1-<Xi-=^{t 冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導致進入較大的溫度頻率效應區(qū)域,厚度精度將下降。
/m:}rD ypVr"fWB 上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實時監(jiān)測晶振片的損耗,膜層應力對此值影響較大。
2V 'Tt3 另一方面,XDM-3K有額外付費的厚度補償功能,正是為了補償溫度效應帶來的厚度計算偏差。