MEMS技術被認為是一項革命性技術，給光通信領域的應用帶來了一系列前所未有的MEMS研究熱潮．這些研究被稱為MOEMS〔微光學電子機械系統(tǒng)〕。人們對MEMS光開關研究始于20世紀90年代中期．雖然起步較晚，但發(fā)展較快，而且研究單位和研究者眾多．成為一種最流行的光開關制作技術．貝爾實驗室的“跌撓板”式光開關，被稱為世界上第一個有實用價值的MEMS光開關；美國的OMM公司的“Cros-GuaN”光開關號稱世界第一個MEMS光開關，該公司的小陣列(4×4和8×8)光開關產(chǎn)品已進入實用階段，大于32×32陣列的光開關也在開發(fā)之中；另外。美國的Onix公司也制作了基于微鏡技術的光開關，其中微鏡技術是該公司的專利技術．在MEMS光開關的制作中，這些國外的研究單位和公司大多采用了MEMS平面工藝。 {
D7!'Rq,  
"3Ec0U \s  
一般說來，MEMS光開關從空間結構上可分成這樣兩種，即2D開關和3D開關。這兩種結構在如何控制和引導光束的能力方面有很大的差別，可以在光通訊網(wǎng)絡中發(fā)揮各自不同的作用。在2D開關中，微鏡的排列只有兩個位置，即開和關兩種狀態(tài)，其結構如圖3所示。這樣極大地減化了控制電路的設計，一般只需提供足夠的驅(qū)動電壓使微鏡發(fā)生動作即可。但是當要擴展成大型光開關陣列時，這種結構的弱點便顯露出來了。因為各個輸入輸出端口之間的光路傳輸距離各有不同，所以各端口的插入損耗也不同，這就使2D光開關只能用在端口較少的環(huán)路里。這種二維光開關陣列插人損耗小于4dB，開關時間小于10ms。由于受光程損耗的限制，最大可以實現(xiàn)32x32端口。如果要想實現(xiàn)更高端口密度，則在技術上十分困難。 Am-JB
 
L-Z1Xs  
在3D MEMS光開關中，微鏡能沿著兩個向的軸任意旋轉，因此它可以用不同的角度來改變光路的輸出，這樣在N×N的陣列中它只需要N或2N個微鏡即可。但是如果只有N個微鏡，則每個鏡的有限旋轉角度將會引入新的插入損耗。因此，現(xiàn)在多采用兩組微鏡陣列(2N)，如圖4所示。這種結構的最大優(yōu)點是由光程差所引起的插入損耗對光開關陣列端口數(shù)的擴展將不會產(chǎn)生很大的影響。但是另一方面，它所需要的控制電路和結構設計將會變得較為復雜。 8R)*8bb  
J9{B  
利用MEMS技術制作的新型光開關，體積小、重量輕、能耗低，可以與大規(guī)模集成電路制作工藝兼容，易于大批量生產(chǎn)、集成化、方便擴展、有利于降低成本。此外MEMS光開關與信號的格式、波長、協(xié)議、調(diào)制方式、偏振作用、傳輸方向等均無關，同時在進行光處理過程中不需要進行光／電或電／光轉換。特別是大規(guī)模光開關陣列，幾乎非MEMS技術而不能實現(xiàn)。而OXC必需使用大規(guī)模光開關陣列。因此大規(guī)模MEMS光開關陣列已經(jīng)成為目前發(fā)展全光通信技術中極其重要的技術路線。 vq x;FAqZ  
SMnbI
.0  
另外MEMS光開關及其陣列在現(xiàn)有光通信中的應用范圍也很廣。長途傳輸網(wǎng)中的光開關／均衡器，發(fā)射功率限幅器；城域網(wǎng)中的監(jiān)控保護開關、信道均衡器、增益均衡器；無源網(wǎng)中的調(diào)制器等都需要光開關及其陣列。