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上海膜林科技有限公司的新一代晶控儀 XDM-3K，全中文觸摸屏，操作簡(jiǎn)單，含有多項(xiàng)專(zhuān)利技術(shù)，國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)輕松實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。表現(xiàn)優(yōu)異，詳情請(qǐng)見(jiàn)公司網(wǎng)站：morningtech.cn p&5>j\uJ1&  
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可用晶振片     6MHz     /AyxkXq  
頻率范圍     5MHz~6MHz, t1"#L_<e  
頻率分辨率     0.005Hz     RgL>0s  
頻率穩(wěn)定度     1ppm     K#AexA
  
膜厚分辨率     0.002A     Gi#-TP\  
測(cè)量更新率     10Hz Sk1t~  
材料數(shù)     112 "
a}fwg9Y  
膜系數(shù)     20, 可自動(dòng)串接 :=TIq  
可設(shè)定層數(shù)     112層/每膜系 Ir5|H|b<  
可控制蒸發(fā)源數(shù)     3個(gè), 0~10V, 16bit S