4D動(dòng)態(tài)干涉儀原理 /"u37f?[^  
4D動(dòng)態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時(shí)間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨(dú)創(chuàng)的相位相關(guān)的CCD技術(shù)，使得一個(gè)CCD幀頻內(nèi)就可實(shí)現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示： ~eoM 2XlW  
{)!>e  
光源發(fā)出的激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會(huì)后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進(jìn)入CCD. GfEWms8z  
0NC70+4L  
y*-_  
    掩模板（定向微偏振片陣列）的單元結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對(duì)應(yīng)相關(guān). 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個(gè)單元后會(huì)發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個(gè)像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對(duì)每一組像元進(jìn)行相移干涉計(jì)算, 就可以獲得整個(gè)樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計(jì)算時(shí)可以重復(fù)利用相鄰像元，從而實(shí)現(xiàn)全分辨的測量。 L*A-&9.p3  
•   4D 動(dòng)態(tài)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及其應(yīng)用： bDtb6hL  
1.適合于惡劣環(huán)境下的測量 (?zD!% k  
•   快速測量 – 測量速度只受曝光時(shí)間限制，而不受CCD幀頻限制! Q!U}