luffy17520:大機(jī)器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 j^>J*gLM}W  
大機(jī)器還有離子源修正板，這個比較簡單。 PjDYdT[  
小機(jī)器為左右擋板，試驗原理也是單腔 4OC^IS  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 `cCsJm$V"  
....... (2013-11-21 15:53)  K
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