我公司新買臺 光馳 GENER1300真空鍍膜機，只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 7l7eUy/z  
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現(xiàn)在有個問題請教一下，電子槍擋板打開后，成膜速度過快，速度沖到設定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設定有問題，具體數(shù)為：  請各位幫忙分析下 1 xiq]~H  
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名稱    速率    控制方式     GAIN         primary  time      dead time     max power         min  power 0X0HDQ  
MGF2   6.5         PID             3                      0.01               0.1                  10%                   0 T6Ue\Sp'  
AL2O3  6.7        PID             1                      0.01                0.1                  50%                  3.0 }&rf'E9  
H4         7.1        PID              1                     0.01                 0.1                  50%                  3.0 lV`y6