摘要:針對(duì)亞微米級(jí)及亞微米級(jí)以下的光學(xué)硬脆性非球面器件難加工問(wèn)題,分析了光學(xué)非球面的形狀精度和應(yīng)用,討論了其超精密加工原理和方法及非接觸檢測(cè)手段,結(jié)果表明,精密數(shù)控機(jī)床、 硬脆性材料延性域加工原理和超精密檢測(cè)是光學(xué)非球面超精密加工的技術(shù)保證。 iV$TvD+
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關(guān)鍵詞:非球面;超精密加工;光學(xué)器件;非接觸檢測(cè);單點(diǎn)金剛石切削;弧形金剛石砂輪