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[論文]光學(xué)非球面的超精密加工技術(shù)及非接觸檢測.PDF [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2012-08-28

關(guān)鍵詞：光學(xué)非球面精密加工

摘要：針對亞微米級及亞微米級以下的光學(xué)硬脆性非球面器件難加工問題，分析了光學(xué)非球面的形狀精度和應(yīng)用，討論了其超精密加工原理和方法及非接觸檢測手段，結(jié)果表明，精密數(shù)控機(jī)床、硬脆性材料延性域加工原理和超精密檢測是光學(xué)非球面超精密加工的技術(shù)保證。

關(guān)鍵詞：非球面;超精密加工；光學(xué)器件；非接觸檢測；單點(diǎn)金剛石切削；弧形金剛石砂輪

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