一.激光干涉 aGNVqS%y  
8-cG[/|0  
1.原理 (.P;VH9R\  
  'T7JXV5  
jpyV52  
  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號。 ADA%$NhJ!  
>h<eEv/  
2.國內(nèi)外研究 \8Mkb]QA  
KpC)A5u6  
國內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 xC`Hm?kM  
國外：美國的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 %9[GP7?  
"*l
aY<E  
3.干涉技術(shù)展望 cGkl=-oQ'  
I"Ji_
4QV  
用于在線檢測的高分辨干涉測量設(shè)備由于要適應(yīng)直接放在精密機(jī)床上工作的較嚴(yán)酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對于超精密加工在線檢測已完全滿足要求并有一定儲備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進(jìn)一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實(shí)驗(yàn)室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 V-A^9AAPm  
tzi+A;>c(v  
4.一些干涉技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果 h@Ea$1'e,