一.激光干涉 +k<0:Fi  
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1.原理 Gkr?M^@K  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號。 ,|lDR@  
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2.國內(nèi)外研究 %={[e`,  
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國內(nèi)：四川大學激光應用技術研究所, 周肇飛教授領導的課題組 。 _t7}ny[  
國外：美國的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 U
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3.干涉技術展望 50='>|b  
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用于在線檢測的高分辨干涉測量設備由于要適應直接放在精密機床上工作的較嚴酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對于超精密加工在線檢測已完全滿足要求并有一定儲備。如果確有更高的要求, 該領域尚有進一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實驗室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 u$%;03hJ  
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