一.激光干涉 Ig`q[o  
q()o|V  
1.原理 7Ed0BJTa  
  j8` B  
W^tD6H;  
  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來(lái)測(cè)量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。 j2MA['{  
9j>2C  
2.國(guó)內(nèi)外研究 tb+gCs'D  
6(bN*.  
國(guó)內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 SN}K=)KF#  
國(guó)外：美國(guó)的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國(guó)NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 Y,)(Q  
@(sz