機(jī)械制造技術(shù)從提高精度與生產(chǎn)率兩個(gè)方面同時(shí)迅速發(fā)展起來(lái)。在提高生產(chǎn)率方面，提高自動(dòng)化程度是各國(guó)致力發(fā)展的方向，近年來(lái)，從C N C到C I M S發(fā)展迅速，并且在一定范圍內(nèi)得到了應(yīng)用。從提高精度方面，從精密加工發(fā)展到超精密加工，這也是世界各主要發(fā)達(dá)國(guó)家致力發(fā)展的方向。其精度從微米到亞微米，乃至納米，其應(yīng)用范圍日趨廣泛，在高技術(shù)領(lǐng)域和軍用工業(yè)以及民用工業(yè)中都有廣泛應(yīng)用。如激光核聚變系統(tǒng)、超大規(guī)模集成電路、高密度磁盤(pán)、精密雷達(dá)、導(dǎo)彈火控系統(tǒng)、慣導(dǎo)級(jí)陀螺、精密機(jī)床、精密儀器、錄象機(jī)磁頭、復(fù)印機(jī)磁鼓、煤氣灶轉(zhuǎn)閥等都要采用超精密加工技術(shù)。 #rqyy0k0'h
它與當(dāng)代一些主要科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有密切的關(guān)系，是當(dāng)代科學(xué)發(fā)展的一個(gè)重要環(huán)節(jié)，超精密加工技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了機(jī)械、液壓、電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、傳感器和測(cè)量技術(shù)以及材料科學(xué)的發(fā)展。
1超精密加工技術(shù)概述
超精密加工目前就其質(zhì)來(lái)說(shuō)是要實(shí)現(xiàn)以現(xiàn)有普通精密加工手段還達(dá)不到的高精度加工，就其量來(lái)說(shuō)是要加工出亞微米乃至毫微米級(jí)的形狀與尺寸賴(lài)皮并獲得納米級(jí)的表面粗糙度，但究竟多少精度值才算得上超精密加工一段要視零件大小、復(fù)雜程度以及是否容易變形等因素而定。 ^A:!ni@3
超精密加工主要包括超精密切削(車(chē)、銑) 超精密磨削、超精密研磨 /e;e\k_}'
(機(jī)械研磨、機(jī)械化學(xué)研磨、研拋、非接觸式浮動(dòng)研磨、彈性發(fā)射加工等)以及超精密特種加工(電子束、離子束以及激光束加工等)。上述各種方法均能加工出普通精密加工所達(dá)不到的尺寸精度、形狀精度和表面質(zhì)量。每種超精密加工方法都是針對(duì)不同零件的要求而選擇的。
1．1超精密切削加工
超精密切削加工的特點(diǎn)是采用金剛石刀具。金剛石刀具與有色金屬親和力小，其硬度、耐磨性以及導(dǎo)熱性都非常優(yōu)越，且能刃磨得非常鋒利(刃口圓弧半徑可小于ρ0．01 μm，實(shí)際應(yīng)用一般ρ0，05 μm) 可加工出優(yōu)于Ra0．01 μm的表面粗糙度。此外，超精密切削加工還采用了高精度的基礎(chǔ)元部件(如空氣軸承、氣浮導(dǎo)軌等)、高精度的定位檢測(cè)元件(如光柵、激光檢測(cè)系統(tǒng)等)以及高分辨率的微量進(jìn)給機(jī)構(gòu)。機(jī)床本身采取恒溫、防振以及隔振等措施，還要有防止污染工件的裝置。機(jī)床必須安裝在潔凈室內(nèi)。進(jìn)行超精密切削加工的零件材料必須質(zhì)地均勻，沒(méi)有缺陷。在這種情況下加工無(wú)氧銅，表面粗糙度可達(dá)到Ba0．005μm，加工φ800mm的非球面透鏡，形狀精度可達(dá)0．2／μm。超精密加工技術(shù)在航空航天、光學(xué)及民用等領(lǐng)域的應(yīng)用十分廣泛(見(jiàn)表1) 并向更高精度等方向發(fā)展(見(jiàn)表2)。
1．2超精密磨削
超精密磨削技術(shù)是在一般精密磨削基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。超精密磨削不僅要提供鏡面級(jí)的表面粗糙度，還要保證獲得精確的幾何形狀和尺寸。為此，除要考慮各種工藝因素外，還必須有高精度、高剛度以及高阻尼特征的基準(zhǔn)部件，消除各種動(dòng)態(tài)誤差的影響，并采取高精度檢測(cè)手段和補(bǔ)償手段。 2nG{>,#C:O
目前超精密磨削的加工對(duì)象主要是玻璃、陶瓷等硬脆材料，磨削加工的目標(biāo)是范成3—5nm的平滑表面，也就是通過(guò)磨削加工而不需拋光即可達(dá)到要求的表面粗糙度。作為納米級(jí)磨削加工，要求機(jī)床具有高精度及高剛度，脆性材料可進(jìn)行可延性磨削(Ductile Grinding)。納米磨削技術(shù)對(duì)燃?xì)鉁u輪發(fā)動(dòng)機(jī)，特別是對(duì)要求高疲勞強(qiáng)度材料(如飛機(jī)的噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪用的陶瓷材料)的加工，是重要而有效的加工技術(shù)。 Xi
