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    [求助]大角度反射率測量疑問 [復(fù)制鏈接]

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    離線youngnju
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-11-03
    關(guān)鍵詞: 光譜角度偏振
    使用光譜儀測量大角度傾斜入射光的反射率,受偏振的影響會不準(zhǔn)確,具體原因不明白。請各位大俠賜教。 ^QRg9s,T<  
    ijF_ KP'  
    另外,請問加偏振片是否可行修正呢?
     
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    離線mang2004
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2011-11-04
    光線在光學(xué)界面大角度入射時,P, S偏振方向的透射和反射特性有差異,可以從任何一本物理光學(xué)或波動光學(xué)書上找到理論根據(jù)。 9B: 3Ha=  
    *x"80UXL  
    加偏振片修正可行! FRBu8WW0L  
    N6U d(8*  
    可在光源之后,被測件之前加消光比較高的線起偏器。 KQdIG9O+6  
    離線youngnju
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2011-11-08
    我知道S,P分量的反射率隨著角度不同會有變化,但問題是無論S、P分量隨角度如何改變,它們在固定角度下的反射率是固定的,因此在固定角度下,疊加后的總反射率應(yīng)該也是固定的。這時候光譜儀檢測到的總反射光的光強(qiáng)應(yīng)該是一個確切不變的數(shù)值(不管此數(shù)值如何隨角度而改變),那么所謂的“大角度反射率的不準(zhǔn)確性”具體體現(xiàn)在哪里? E $@W~).!  
    :gh[BeqQ)  
    換個說法,如果不加偏振片,不區(qū)分出S、P分量,測量會有什么異常嗎? V#t_gS  
    離線mang2004
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2011-11-09
    從回復(fù)中分析出是測試的重復(fù)性不好,即:在固定角度下,光譜儀檢測到的總反射光的光強(qiáng)不是一個確切不變的數(shù)值,這是你認(rèn)為的“大角度反射率的不準(zhǔn)確性”,對吧? H",B[ YK  
    可否大概描述你的測試設(shè)置,規(guī)程及結(jié)果? tli.g  
    )D)5 `n)  
    離線youngnju
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2011-11-09
    我用的光譜儀測量反射率時固定入射角度5度,不能調(diào)整,所以我并沒有實(shí)際觀察過大角度測量時的結(jié)果。 BT$p~XB  
     `zwz  
    但在評估光譜儀時,兩個設(shè)備供應(yīng)商提到大角度反射率測量不準(zhǔn)確的情況。因?yàn)楹罄m(xù)制程可能會使用到大角度測量,所以我才有此一問。 --$o$EP`  
    ]rmBM