使用光譜儀測量大角度傾斜入射光的反射率，受偏振的影響會不準確，具體原因不明白。請各位大俠賜教。 >3b< Fq$  
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另外，請問加偏振片是否可行修正呢？

光線在光學界面大角度入射時，P, S偏振方向的透射和反射特性有差異，可以從任何一本物理光學或波動光學書上找到理論根據。 #+Bz$CO  
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加偏振片修正可行！ $_'<kH-eP  
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可在光源之后，被測件之前加消光比較高的線起偏器。 ^Ar1V!PFk  

我知道S,P分量的反射率隨著角度不同會有變化，但問題是無論S、P分量隨角度如何改變，它們在固定角度下的反射率是固定的，因此在固定角度下，疊加后的總反射率應該也是固定的。這時候光譜儀檢測到的總反射光的光強應該是一個確切不變的數值（不管此數值如何隨角度而改變），那么所謂的“大角度反射率的不準確性”具體體現(xiàn)在哪里？ Y*lc ~X  
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換個說法，如果不加偏振片，不區(qū)分出S、P分量，測量會有什么異常嗎？ V$
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從回復中分析出是測試的重復性不好，即：在固定角度下，光譜儀檢測到的總反射光的光強不是一個確切不變的數值，這是你認為的“大角度反射率的不準確性”，對吧？ e&(Wn2)o  
可否大概描述你的測試設置，規(guī)程及結果？ P()&?C  
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我用的光譜儀測量反射率時固定入射角度5度，不能調整，所以我并沒有實際觀察過大角度測量時的結果。 RSM+si/  
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但在評估光譜儀時，兩個設備供應商提到大角度反射率測量不準確的情況。因為后續(xù)制程可能會使用到大角度測量，所以我才有此一問。 n0':6*oGW  
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