.空心陰極離子鍍?cè)?span style="display:none"> 40E#JF#
在本底真空為高真空的條件下，由陰極中通入氬器氣（1-10-2）
sJwyj D$b 在陰極與輔助陽(yáng)極之間加上引弧電壓，使氬氣發(fā)生輝光放電，在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電，陰極溫度升高到2300-2400K時(shí)，由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電，開(kāi)始熱電子發(fā)射，放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體，可以制化合膜。
-=s(l.?Hm5 o8e?J\? 2.測(cè)控濺射工作原理
Q+4tIrd+ _Z5Mw+=19 先將真空室預(yù)抽至10-3Pa，然后通入氣體（如氬氣），氣壓為1-10 Pa時(shí)，給靶加負(fù)電壓，產(chǎn)生輝光放電，電子在電場(chǎng)正作用下加速飛向基片時(shí)，與氬原子碰撞，電離出Ar和另一個(gè)電子；
7dsefNPb 轟擊靶材，由二次電子電離的 越來(lái)越多，不斷轟擊靶材；磁場(chǎng)改變電子的運(yùn)動(dòng)方向，以電磁場(chǎng)束縛和延長(zhǎng)電子的運(yùn)動(dòng)軌跡，從而提高電子對(duì)工作氣體的電離幾率。
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