光學(xué)樣板是人造熔融石英材質(zhì)的
光學(xué)平板之一,被用作平面元件的平面度測量時(shí)的
標(biāo)準(zhǔn)平面。也被稱為牛頓樣板,日系企業(yè)也稱為原器。 把被測件放在光學(xué)平板上就會出現(xiàn)牛頓環(huán),根據(jù)牛頓環(huán)的數(shù)量和形狀,檢驗(yàn)和測量被測件的面
精度。牛頓環(huán)是兩個表面間的間隙引起的
干涉條紋。一個間隔相當(dāng)于測量
波長的一半。(牛頓環(huán)法)
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