光學(xué)鍍膜機的維護包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計量部件的定期校準兩部分。 ,{4G@:Fm  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 tCkKJ)m  
1.腔室內(nèi)部防護板 h( lkC[a&  
周期：每月清理一次 Ww(($e!  
先對防護板進行更換，將污染的防護板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲物柜以備下次更換。 AGxtmBB;  
2.離子源清洗 SkGh@\  
周期：50~100小時 zGm#erE  
A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機說明書） 014p