光學(xué)鍍膜機(jī)的
維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。
j,56Lh%1 一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理
6PJJ?}P^1 1.腔室內(nèi)部防護(hù)板
f_ 4S>C$ 周期：每月清理一次
^KZAYB9C 先對防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。
dx13vZ 3[U 2.離子源清洗
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7 周期：50~100小時(shí)
F/h
