剛剛下載這本書看了下，這本書是浙大顧培夫編著的《薄膜技術》，1990年浙江大學出版社出版。
Yr=8! iR $ 書的內容還是很全面的，共有九章，分別為：
s'TY[ 第一章 真空設備
<K X&zi<L) 第二章 制備技術
ul$,q05nb 第三章 制備工藝因素
/H Zv 第四章 薄膜材料
f ~q4{ 第五章 膜層厚度的均勻性
H;QA@tF>5 第六章 薄膜的厚度監(jiān)控
fH[Wkif 第七章 薄膜的結構特性
zZ: xEc 第八章 光學薄膜性質及其測量
zd.'*Dj 第九章 薄膜的力學性質及其檢測
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