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[求助]請問有沒有在Silica上刻光波導方面的資料？ [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-11-23

用集成電路的工藝來刻蝕Silicon很容易，除了在設計方面費點事。
如果我想用傳統(tǒng)的二氧化硅刻光波導（AWG的那些東西），工藝就不同，應為Silica不容易刻。