(1)QW激光器
-(~OzRfYi e"g=A=S 隨著金屬有機物化學(xué)汽相淀積(MOCVD)技術(shù)的逐漸成熟和完善,QW激光器很快從實驗室研制進(jìn)入商用化。QW器件是指采用QW材料作為有源區(qū)的
光電子器件,材料生長一般是采用MOCVD外延技術(shù)。這種器件的特點就在于它的QW有源區(qū)具有準(zhǔn)二維特性和量子尺寸效應(yīng)。QW激光器與體材料
激光器相比,具有閾值電流小、量子效率高、振蕩頻率高的特點,并可直接在較高的溫度下工作。
f)'mpp^ ^/c v8M= (2)應(yīng)變QW激光器
X"hdCY% Kd,8PV*_ 為了進(jìn)一步改善QW激光器的性能,人們又在QW中引入應(yīng)變和補償應(yīng)變,出現(xiàn)了應(yīng)變QW激光器和補償應(yīng)變QW激光器。應(yīng)變的引入減小了空穴的有限質(zhì)量,進(jìn)一步減小了價帶間的躍遷,從而使QW激光器的閾值電流顯著降低,量子效率和振蕩頻率再次提高,并且由于價帶間躍遷的減小和俄歇復(fù)合的降低而進(jìn)一步改善了溫度特性,實現(xiàn)了
激光器無致冷工作。在阱和壘中分別引入不同應(yīng)變(張應(yīng)變/壓應(yīng)變)實現(xiàn)應(yīng)變補償,不僅能改善材料質(zhì)量,從而提高激光器的壽命,而且可利用壓應(yīng)變對應(yīng)于TE模式、張應(yīng)變主要對應(yīng)于TM模式的特性,制作與偏振無關(guān)的
半導(dǎo)體激光放大器。
*z852@ #^FDG1= 引人矚目的是,GaSb基銻化物材料的研究多年來倍受重視,因其波長覆蓋范圍寬,可從1.7 m延展到4.5 m,但材料生長和器件制作比較困難,1990年以前器件性能指標(biāo)較低。經(jīng)過近十年的努力,目前MBE生長GaSb基銻化物應(yīng)變量子阱激光器已在1.9 2.6 m波段先后獲得室溫連續(xù)大功率工作的突破。
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