德國(guó)DATARIUS公司涂層測(cè)厚儀及色彩分析儀 4e/cqN6  
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厚度測(cè)量?jī)x適用于研發(fā)和半導(dǎo)體、FPD、納米技術(shù)、電子材料及特殊薄膜生產(chǎn)線中的薄膜測(cè)厚，例如在半導(dǎo)體行業(yè)，需根據(jù)圖樣精確地獲取晶圓表面的各個(gè)薄膜沉積。薄膜測(cè)量系統(tǒng)是用來(lái)監(jiān)控工序并通過(guò)測(cè)量薄膜的厚度決定產(chǎn)品的質(zhì)量。 "%kGRHq  
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測(cè)量薄膜厚度有許多種方法。其中最常見(jiàn)的是基于機(jī)械技術(shù)的觸針?lè)椒ā?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=顯微鏡',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">顯微鏡技術(shù)和光學(xué)技術(shù)。   r|bPR!0  
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K-MAC公司的薄膜厚度測(cè)試系統(tǒng)，采用的是光學(xué)技術(shù)方法。因而由薄膜表面的反射光和基板表面反射光之間的干涉現(xiàn)象或是光的相位差決定薄膜的性質(zhì)，這樣我們不但可以測(cè)量薄膜厚度還可以測(cè)量光學(xué)常數(shù)，如果是透明薄膜且可維持光的干涉性。通過(guò)數(shù)學(xué)計(jì)算多層薄膜的每個(gè)層的厚度都可以測(cè)量。由于采用的是用戶(hù)友好界面，操作簡(jiǎn)單。樣品不受到損害，可快速測(cè)量大范圍厚度。 Ws>i)6[  
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光譜式量測(cè): vXf:~G]  
• 白光干涉, lA4hm4"i(,  
• 簡(jiǎn)易操作,備品便宜（僅需魯素?zé)舴浅１阋耍?span style="display:none"> x3;jWg~'  
• 裝機(jī)量最大（今年及去年臺(tái)灣已裝超過(guò)100 臺(tái)機(jī)器）包含長(zhǎng)興化工, 南亞乾膜, 力特, 奇美材料, 臺(tái)虹(偏光膜) : ^;64!BaK  
• 價(jià)格合理維修容易。 wWFW,3b  
• 測(cè)試可以得到實(shí)際厚度。厚度答 案不需經(jīng)過(guò)校正直接就是實(shí)際厚度. \-G5l+!  
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