德國(guó)DATARIUS公司涂層測(cè)厚儀及色彩分析儀
德國(guó)DATARIUS公司涂層測(cè)厚儀及色彩分析儀 厚度測(cè)量?jī)x適用于研發(fā)和半導(dǎo)體、FPD、納米技術(shù)、電子材料及特殊薄膜生產(chǎn)線中的薄膜測(cè)厚,例如在半導(dǎo)體行業(yè),需根據(jù)圖樣精確地獲取晶圓表面的各個(gè)薄膜沉積。薄膜測(cè)量系統(tǒng)是用來(lái)監(jiān)控工序并通過(guò)測(cè)量薄膜的厚度決定產(chǎn)品的質(zhì)量。 測(cè)量薄膜厚度有許多種方法。其中最常見(jiàn)的是基于機(jī)械技術(shù)的觸針?lè)椒ā?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=顯微鏡',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_7">顯微鏡技術(shù)和光學(xué)技術(shù)。 |