在諸多光子
探測器件中占據(jù)主導(dǎo)地位的是高性能
半導(dǎo)體光電
二極管、紅外探測器與固體成象器件。
INyakAmJ}- &m'ttUG? (1) 半導(dǎo)體光電二極管
-cjwa-9
~ ?Q< o-o;B 屬于這類器件的主要有pin型光電二極管和雪崩型光電二極管(apd)。目前以ingaas制作的pin與apd已作為高靈敏度、高響應(yīng)度的光電探測器在
光纖通信、光纖傳感等領(lǐng)域廣泛使用,并占據(jù)了主導(dǎo)地位。近年來,pin器件的性能不斷提高,其脈沖響應(yīng)已達(dá)到ps量級(jí)。apd是一種具有增益能力的探測器,具有很高的靈敏度,因此更被看好,F(xiàn)在已對(duì)各種apd結(jié)構(gòu),如sapd、sam-apd、sagm-apd以及量子阱apd等展開了深入研究。其中sam-apd被認(rèn)為是一種成功的結(jié)構(gòu)形式,sagm-apd是對(duì)sam-apd的進(jìn)一步完善,并已開始實(shí)用化。量子阱apd是一種新穎結(jié)構(gòu)并具有發(fā)展前景的光電探測器,目前也已趨于實(shí)用化。
oM@X)6P_ |Q'l&Gt6 (2) 紅外探測器
5 E%dF9q 3KF[ v{ 確切講,這里的紅外探測器件是指
光纖通信波段(850nm~1550nm)以外的中遠(yuǎn)紅外探測器。它們主要應(yīng)用于紅外成象、制導(dǎo)、遙感、跟蹤以及空間通信與光電對(duì)抗等技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。已研制和開發(fā)的各種紅外探測器件,其中以hgcdte為材料的單元、多元及焦平面陣列探測器件受到廣泛重視。 在3μm~ 5μm 波段,hgcdte 與 insb的焦平面陣列探測器件互為競爭對(duì)象,各有長處。在 8μm ~ 1 4μm 波段,則以hgcdte焦平面陣列探測器件為發(fā)展重點(diǎn)。提高陣列單元數(shù)目、探索新材料和新結(jié)構(gòu)也是發(fā)展紅外探測器件的重要任務(wù)。
^}-(8~_en SX{6L( (3) 固體成象器件
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