實驗2  金屬薄膜之制作 sH&8"5BT%  
一、實驗?zāi)康?span style="display:none"> :z"Uw
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學(xué)習(xí)利用熱蒸鍍及電漿濺鍍法(Sputtering Deposition in Plasma Environment)制作金屬薄膜。 n_c0=YH  
1．了解真空技術(shù)的基本知識； |kVxrq  
2．掌握低、高真空的獲得和測量的基本原理及方法； -R\}Q"  
3．了解真空鍍膜的基本知識； cb UVeh7Q  
4．學(xué)習(xí)掌握蒸鍍鍍膜的基本原理和方法． I#A`fJ