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    20世紀(jì)60年代初激光器問(wèn)世一來(lái)，經(jīng)過(guò)20多年的發(fā)展，現(xiàn)已成為一種非常成熟的技術(shù)，廣泛用于混合電路制造業(yè)。國(guó)內(nèi)外不少混合電路廠家都采用激光調(diào)阻工藝。與其他調(diào)阻技術(shù)相比，激光調(diào)阻的精度高，效率高。  [F BCz>  
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    現(xiàn)代激光技術(shù)是制造高性能混合電路的重要手段�，F(xiàn)代激光調(diào)阻技術(shù)不僅能對(duì)厚膜基片進(jìn)行調(diào)阻，而且能對(duì)組裝后的混合集成電路進(jìn)行微調(diào)，保證電路的功能。隨著混合電路向高性能、高可靠和高密度發(fā)展，激光調(diào)阻技術(shù)在混合電路制造中的作用日益突出。  #NVF\  
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    激光調(diào)阻機(jī)是一種精密的激光微調(diào)設(shè)備，它通過(guò)短脈沖激光掃描切割，改變電阻體的導(dǎo)電截面積，達(dá)到把低于目標(biāo)阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)，適用于片狀電阻的快速大規(guī)模生產(chǎn)。它的主要構(gòu)成為：一臺(tái)輸出脈沖頻率可調(diào)的調(diào)Q脈沖Nd:YAG激光器，輸出波長(zhǎng)為1.06μm激光，經(jīng)兩軸偏轉(zhuǎn)后，由光學(xué)系統(tǒng)匯聚成25μm直徑的光斑，照射到載臺(tái)上的片式電阻基片上。基片電阻漿料層受激光加熱氣化，形成一定深度的刻痕，從而改變了電阻體的導(dǎo)電截面積和導(dǎo)電長(zhǎng)度。高速高精度在線電阻測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量電阻器的阻值，當(dāng)阻值達(dá)到標(biāo)稱值時(shí)，由電控開關(guān)關(guān)斷激光，完成此片式電阻的修整過(guò)程，全過(guò)程用時(shí)5－20ms。由一臺(tái)X－Y方向激光掃描振鏡完成一行電阻器的修調(diào)。然后，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)載片臺(tái)向前運(yùn)動(dòng)一個(gè)行距的位置，重復(fù)上述過(guò)程完成第二行調(diào)阻，依此類推，直至調(diào)完一片。所有上述工作在一臺(tái)計(jì)算機(jī)統(tǒng)一控制下，協(xié)調(diào)高效地進(jìn)行。  1OfSq1G>v$  
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    激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學(xué)度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領(lǐng)域?qū)⒌玫皆絹?lái)越廣泛的應(yīng)用。