LED外延片--襯底材料 Eek9|i"p
 
66:ALFwd7  
襯底材料是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料，需要不同的外延生長(zhǎng)技術(shù)、芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù)，襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下九個(gè)方面： >Wi s.e%b  
• [1]結(jié)構(gòu)特性好，外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度�。� !e8i/!}^S  
• [2]界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng)； x!{   
• [3]化學(xué)穩(wěn)定性好，在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕； +cg {[f,J;  
• [4]熱學(xué)性能好，包括導(dǎo)熱性好和熱失配度��； R9dP