襯底材料是
半導體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料,需要不同的外延生長技術(shù)、
芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù),襯底材料決定了半導體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下九個方面:
UoUQ6Ij 8TK*VOf` [1]結(jié)構(gòu)特性好,外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度。
.}uri1k"@k [2]界面特性好,有利于外延材料成核且黏附性強;
-@Urq>^v T [3]化學穩(wěn)定性好,在外延生長的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕;
X[f)0w% [4]熱學性能好,包括導熱性好和熱失配度;
Q04
`+Vr [5]導電性好,能制成上下結(jié)構(gòu);
k*!iUz{] [6]
光學性能好,制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收;
\=`jo$S [7]機械性能好,器件容易加工,包括減薄、拋光和切割等;
& JJ*?Dl [8]價格低廉;
da_0{;wR [9]大尺寸,一般要求直徑不小于2英吋。
#0\* 86 A