主要鍍膜材料及其性能和用途
*^X#Eb 名稱 折射率 透光范圍 蒸發(fā)溫度(℃) 蒸發(fā)源 應(yīng)用
?@3#c 三氧化二鋁 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 電子槍 增透膜、多層膜
@c6"RHG9 氟化鈰 1.63/500nm 300~5000 1429 鉬,鉭,電子槍 增透膜、多層膜
P{"WlJ 氧化鈰 2.35/500nm 400~16000 1950 電子槍 增透膜
C(EYM$ 冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 鉬,鉭,電子槍 增透膜
<\E"clZI 氧化鉿 1.95/500nm 230~7000 2500 電子槍 紫外-近紅外多層膜
kuWK/6l4 透明導電膜料 2.0/500nm 400~800 1450 電子槍,Al2O3 透明導電膜
c:3@[nF~ 氟化鈣 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 鉬,鉭,鎢 增透膜
yT[Lzv# 氟化鎂 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 鉬,鉭,鎢 增透膜、多層膜
aUKh})B 氧化鎂 1.7/500nm 200~8000 2000 電子槍 多層膜
ov?.:M 鋯鈦混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 鎢,電子槍 增透膜
'.]e._T 氧化鈧 1.89/500nm 250~5000 2430 電子槍 紫外多層膜
dNOX&$/= 二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 電子槍 多層膜
I~d#p ]> 一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 鉬,鉭,鎢 增透膜、保護膜
"L9C 五氧化二鉭 2.1/500nm 400~7000 1950 電子槍 增透膜
xN e_qO 一氧化鈦 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 電子槍 多層膜、分光膜
hq5NQi`
% 二氧化鈦 2.35/500nm 400~12000 2200 電子槍 增透膜、多層膜
)`B
-O:: 氧化釔 1.87/550nm 400~8000 2500 電子槍 增透膜、多層膜
hO^&0? 氧化鋯 2.05/500nm 250~7000 2500 電子槍 增透膜、多層膜
&=v/VRan[ 三氧化二鈦 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 鉭,鎢電子槍 增透膜、多層膜
*eHA:
A_I 氟化鋇 1.4/10600nm 220~11000 1280 鉬,鉭,鉑 紫外-遠紅外膜、多層膜、增透膜
H(X+.R,Thp 氟化鑭 1.58/500nm 220~14000 1450 鉬,電子槍 增透膜
u^}7Vs
. 硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 電子槍 紅外膜
fn1 ?Qp| 鍺 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 電子槍,鎢 紅外膜
L{cK^ , 硒化鋅 2.58/550nm 600~15000 600~900 鉬,鉭,電子槍 紅外膜
8W19#?7>B 硫化鋅 2.4/1200nm 400~14000 1100 鉬,鉭,電子槍 多層膜
!T<z'zZU 氟化釔 紅外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 鉬 m)增透膜