關(guān)于白光干涉儀的常見提問及回答
原理相關(guān) 1、白光干涉儀的基本原理是什么:白光干涉儀的基本原理是利用光學(xué)干涉原理。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束,一束光經(jīng)被測表面反射回來,另一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋,干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。 2、為什么白光干涉儀只有在零光程差附近才能出現(xiàn)清晰條紋:白光屬于多色光,具有連續(xù)的光譜。與單色光干涉不同,白光干涉在一定光程差范圍內(nèi)會出現(xiàn)彩色的干涉條紋,并且只有在零光程差附近的極小范圍內(nèi)才會出現(xiàn)清晰的、對比度高的干涉條紋。這是因為不同波長的光在非零光程差時,干涉條紋的位置和強度變化復(fù)雜,相互疊加后導(dǎo)致條紋模糊,而在零光程差處,各波長的光干涉條紋重合,形成清晰的條紋,這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現(xiàn)高精度的測量。 儀器構(gòu)造相關(guān) 1、白光干涉儀主要由哪些部分構(gòu)成:主要由光源及科勒照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)、垂直掃描系統(tǒng)、調(diào)整系統(tǒng)、干涉物鏡等組成。其中,干涉物鏡是核心組件,SuperViewW白光干涉儀不通倍率的鏡頭,適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。 2、各部分的作用是什么: (1)光源及科勒照明系統(tǒng):提供穩(wěn)定的白光源,并使光線均勻照亮被測物體。 (2)成像系統(tǒng):將被測物體的像清晰地成像在CCD相機的感光面上。 (3)圖像采集系統(tǒng):通常采用CCD相機,負責(zé)采集干涉條紋圖像。 |