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    [求助]銀內(nèi)反膜,保護(hù)膜一拉就脫落,怎么回事? [復(fù)制鏈接]

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    離線songyanxia
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-12-07
    膜系結(jié)構(gòu):氧化鋁+銀+氧化鋁(不帶源)+氧化鋁(帶源)+氧化硅(帶源),F(xiàn)在鍍下來,用膠帶拉,保護(hù)膜會(huì)脫落。請(qǐng)教各位有什么辦法解決。
     
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    離線shenhan0701
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2024-12-09
    鍍前有開離子源打一下基板嗎?
    離線songyanxia
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2024-12-09
    回 shenhan0701 的帖子
    shenhan0701:鍍前有開離子源打一下基板嗎? (2024-12-09 10:51)  ZJHaY09N  
    xxpzz(S ]A  
    有的,預(yù)處理。現(xiàn)在是銀膜層沒問題,他外面的保護(hù)膜一拉就會(huì)掉。
    離線蔡沛峰
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2024-12-16
    內(nèi)側(cè)結(jié)合力的問題,為什么不在內(nèi)側(cè)用IBS
    離線ouyuu
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2024-12-18
    感覺還是工藝問題。你的離子源可以用氬嗎?速率和溫度是多少?適當(dāng)調(diào)整離子源或者溫度看下會(huì)不會(huì)緩解。
    離線coldking
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 01-21
    材料不夠黏 MZ>Q Rf