摘要 p"JSYF
9] 直接設計非近軸
衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當大,元件的特征尺寸與工作
波長在相同的數量級上。因此,設計過程超出了近軸建模方法。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設計
結構,和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應用于嚴格的性能評估。
01dx}L@hz F>M$|Sc2 設計任務 =UV?Pi*M> ,'9tR&S$_ VgdkCdWRm_ 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設計,通過嚴格分析,進一步
優(yōu)化零階均勻性和影響
%pt$S~j DYl^6] 光柵級次分析模塊設置 70NHU;&N (kHR$8GFM 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個指導工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設計的
參數。
daorKW4 wv7jh~x(4 1. 通過應用設計帶中的結構設計,所得到的傳輸函數可以轉換為結構輪廓。
OBl8kH(b> 2. 對于此轉換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結構與初始相位函數成正比。
wx!*fy4hL 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經預設在光路中。
Wf?sJ`.%b 4. 要在不同的
模擬場景中使用這種結構,需要從組件內部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。
y(R*Z^c}d, 衍射分束器表面 5B2,=?+o 為了進一步評估,使用了通用光柵
光學設置,其中加載之前保存的堆棧。光柵光學裝置提供了獨特的工具、組件和分析儀,以進一步研究給定周期結構的特性和性能。
(HF,p,h_ q^cF