可變量功能(Variable)和連接功能(Link)是可以方便用戶對于
結(jié)構(gòu)中存在變量,以及同時存在多個變量時的
仿真,可變量功能可以一次計算多種仿真條件,從而用戶可以很容易地對各種條件下的數(shù)據(jù)進行比較和分析,而連接功能可以同時改變兩個或兩個以上的條件,在某些數(shù)據(jù)復(fù)雜的情況下可以簡化數(shù)據(jù),降低運算量。其含義解釋可參考下圖
N2[, aU E`oSi
ez) 本案例在一個簡化的IPS結(jié)構(gòu)來使用變量和連接的功能
/AK*aRU^ i;E9ZaW 1. 建模任務(wù) @/_XS4 1.1堆棧結(jié)構(gòu)
(Q}PeKM?jq 1.2本案例中將電極寬度作為可變量,并將變量使用連接功能連接起來,從而查看幾個電極寬度同時變化時對應(yīng)的
參數(shù) *D,v>( D]t~S1ycG7 2. 建模過程 `77;MGg* 2.1在堆棧結(jié)構(gòu)中指定需要作為可變量的參數(shù),如下圖。
S#dyRTmI 分別選中三個“Mask”
將“Mask”中的寬度選為“Variable”
:d!i[W* jK ? 2.2對掩膜寬度設(shè)置變量,并“l(fā)ink”起來
0hHIz4( 上圖中“Link”符號一樣的參數(shù)都會被連接起來,相互連接的參數(shù)需要變量個數(shù)一致,如“Mask 1”的寬度設(shè)置了三個變量,則其余連接的掩膜寬度也需要設(shè)置三個變量
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(uq?3S` "2y7l 3. 結(jié)果查看
y)N.LS 3.1 結(jié)構(gòu)與透過率?梢栽谟覀(cè)直接選擇不同的變量,來查看不同變量下的狀態(tài),如下圖
TzD:bKE& PO=ZxG 3.2 不同電極寬度下的圖表