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光整形>衍射光學(xué) ){#INmsF NyRa.hgZ; 任務(wù)說明 S2Ez}*plp w|S b`eR F<6(Hw#> x*'H@!!G 靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): 5psJv|Zo] - 平滑的界面 F7*)u-4Yn - 量化界面 X"q[rsB - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 [:gg3Qzx lOeX5%$Z 亮點(diǎn) D]*|Zmr+} 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) %bF157X5An 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 uQx/o^ S ;rd0+J 3T0-RP* 一般界面的制造數(shù)據(jù) n-jPb064 4TPdq&';C: f sh9-iY8e hbvcIGaT 支持文件格式: =j- ,yxBvJ - 純文本 et)n`NlcK - ASCII碼 GwP!:p| - 點(diǎn)云 :
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