摘要
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vLS9V/o JG<3,>@% 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來說需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了
VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
\a6)t%u S!q}Pn 設(shè)計(jì)任務(wù)
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.]e6TFsrO Qwa"AY5pW 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
[;=ky<K0E V[I<9xaE 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
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vQ/\BN O<h#|g1 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
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7:L~n(QpP 4sj%: 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
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'U"3'jh Tqa4~|6 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化
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