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摘要 `@vksjxu I
}8b] hb)C"q= uf:'"7V7 對(duì)于許多光學(xué)應(yīng)用來說需要減少表面反射?刂票砻娣瓷涞囊环N非常有效的方法是使用抗反射的納米或微米結(jié)構(gòu),啟發(fā)來源于自然界(蛾眼)。這些具有亞波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。 k5+ Fxf {/>uc,8O 設(shè)計(jì)任務(wù) %,aSD#l`f U9awN&1([ 'R42N3|F HYY+Fv5 如何優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射? %5@>
nC?`[ (*V!V3E3# 掃描參數(shù)空間以獲取初始解 Ag8lI+
h av:%wJUl,$ ,wv>G]v 4p6T0II_$ 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化 8+32hg@^F t\Qm2Q)> F"3'~6 HsT6 #K 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析 ;M\Cw.%![ +OtD@lD`! 3Ljj|5.q iQLP~Z>,T 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化 mS0;2xU SbsdunW+? #'RfwldD9 rL?{+S]&^) 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析 n3 Rf:j^R yD8Qy+6L ]"j%:fr d(|4 +^> VirtualLab Fusion一瞥 MiF(
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h VirtualLab Fusion中的工作流程 2^U?Ztth6 (/t{z= 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) KxfH6:\RB ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces f}?pY"yvO ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media y
S<&d#:" 分析光柵衍射效率 N%u4uLP5k ─ Grating Order Analyzer Kf)$/W4 使用參數(shù)運(yùn)算尋找初始解 z:)*Aobwv ─ Usage of the Parameter Run Document rm|,+{ 使用參數(shù)優(yōu)化確定最終解 2(Yt`3Go( %L-{4Z!"sI VirtualLab Fusion技術(shù) Wv,?xm %(s2{$3 l^$U~OB8k F#qc#s
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