摘要 VdZmrq;?/ DFKumw>! 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
?!:$Z4G @1w9!\7Vt 1. 本案例主要說(shuō)明:
UtebSQ+h\ 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過(guò):
Q8kdX6NMd& - 基于介質(zhì)的定義類型
K2u$1OKv - 基于表面的定義類型
A@kp`- 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。
eKq`t.*Ft 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。
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