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永新光學“一種可變倍率雙遠心光刻鏡頭”專利公布

發(fā)布:cyqdesign 2024-08-05 11:43 閱讀:640

據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,寧波永新光學股份有限公司申請一項名為“一種可變倍率雙遠心光刻鏡頭”,公開號 CN202410897649.1,申請日期為 2024 年 7 月。

專利摘要顯示,本發(fā)明一種可變倍率雙遠心光刻鏡頭,從物側(cè)到像側(cè)依次排列有:光焦度為正的前鏡組,光焦度為正的后鏡組,前鏡組從物側(cè)到像側(cè)由依次排列的第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡和第五透鏡組成,后鏡組包括可移動透鏡,優(yōu)點在于采用雙遠心光學系統(tǒng),通過透鏡面型和光焦度的合理搭配,控制鏡頭內(nèi)的光線走勢,減小像差,實現(xiàn)高分辨率(>0.35@75lp/mm)、低畸變(<0.01%)、寬焦深(>480um)、小遠心度(≤0.07°)的效果,滿足使用需求,通過可移動透鏡的前后移動,實現(xiàn)放大倍率的微調(diào)(2.99~3.01),提高投影定位的一致性和準確性。

關(guān)鍵詞: 雙遠心光刻鏡頭倍率
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wangjin001x 2024-08-06 23:26
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