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[討論]離子源充氧與充氬有何分別？ [復(fù)制鏈接]

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離線ken_jinyan1

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只看該作者 10樓發(fā)表于: 2013-01-28

我們公司的GENER1300 配的是霍爾的離子源。廠家調(diào)試的時(shí)候用的是O2，
說的是氧氣和氬氣都是一樣的。氧氣流量50，氬氣流量30SCCM，我想問一下
離子源對(duì)膜料折射率是否有影響。

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離線alex_xie

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只看該作者 11樓發(fā)表于: 2013-01-30

使用氬氣，鍍出來的膜層致密性會(huì)好一點(diǎn)，可以氧氣氬氣一起用

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離線flyinlove79

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只看該作者 12樓發(fā)表于: 2013-02-02

熱心助人，鼓勵(lì)！

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離線ken_jinyan1

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只看該作者 13樓發(fā)表于: 2013-02-19

但是廠家的工程師和我說MGF2不能用離子源，不知道原因。
如果不能用的話，還怎么冷鍍膜呢？

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離線a060103112

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只看該作者 14樓發(fā)表于: 2013-02-27

回 jiayuch 的帖子

jiayuch:如果鍍得是氟化鎂就用氬氣嗎 (2007-04-22 16:21) //|9J(B]

氟化鎂一般不用離子源，只有偶爾冷鍍用，就只加少量氬氣

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離線愛哭的云彩

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只看該作者 15樓發(fā)表于: 2017-08-09

回 j123456789 的帖子

j123456789:離子源充氧后會(huì)產(chǎn)生氧原子和氧離子，它們具有極其強(qiáng)的活性，作為氧化物膜沉積時(shí)的輔助，不僅能提高膜層的密度，還能改善其吸收！但，其會(huì)降低離子源的壽命！！充氬僅能提高膜層的密度，同時(shí)離子源的壽命會(huì)相對(duì)長(zhǎng)！ (2007-04-15 15:49) =a7m^e7

好有用