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摘要 Bt?.8H6Y \U\k$ ( 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 t)62_nu 1f/8XxTB
2\'5LL3 NA<6s]Cs. 光柵詳細說明 flr&+=1?D nWzGb2Y
wvuh )h&*b9[B= •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 0D=7Mef •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 efnj5|JSV I~f8+DE) 光柵階次分析器設(shè)置 a=%QckR* .o_?n.H'& •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 q*36/I •可以指定各種輸出選項。 NU#rv%p •可以在光學設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 D,)^l@UP xdV $dDCT
{R{Io| LqOjVQxz 常規(guī)設(shè)置 \~{b;$N} S^/:O.X)c,
s(3iGuT xn`<g|"# •在“常規(guī)”選項卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 :
~R:[T2P •另外,可以指定是否要評估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標圖。 A>OGU ^ HbUadPr 單個階次設(shè)置 NW=tZV
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