摘要 DLMM1 A  
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對(duì)于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要的問題。對(duì)于這些應(yīng)用，傾斜光柵因?yàn)槟軌蚋咝У伛詈蠁紊�光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于給定的方向級(jí)次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 Wc]L4
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設(shè)計(jì)任務(wù) Tp7*
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1級(jí)參數(shù)優(yōu)化 zg)-RCG  
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結(jié)果-容差分析 mWhQds6  
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結(jié)果-容差分析 "zpc)'$L=  
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VirtualLab Fusion一瞥 A}K2"lQ#>,  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Ns3k(j16  
VG,O+I'^z  
構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) fyb:eO}  
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例] 1D@'uApi.  
−傾斜光柵高級(jí)設(shè)定[用例] HP`dfo~j  
•光柵衍射效率分析 ji'NR  
−光柵階序分析器[用例] Z+# =]Kw)  
•使用參數(shù)優(yōu)化進(jìn)行光柵參數(shù)優(yōu)化 UvR F\x%  
•使用參數(shù)運(yùn)行的容差分析 x+1Cs$E;  
uU+R,P0  

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LI`L!6^l  
G:u-C<^'  
VirtualLab Fusion技術(shù) 3}U {~l!K  
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a!OS2Tz:  

了解一下光柵。