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摘要 k;K>
,$ F `hK>bHj 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 P$(WdVG
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 7S A-OFM
VeD+U~ d 建模任務(wù) /]k ,,& XC7Ty'#"KX  m|nL!Wc 概述 N'eQ>2>O@ y?Hj %, •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 >p]WCb'PH •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。
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