微納制造技術(shù)是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設(shè)計、加工、組裝、集成與應用技術(shù)。傳統(tǒng)“宏”機械制造技術(shù)已不能滿足這些“微”機械和“微”系統(tǒng)的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應用微納制造的技術(shù)與方法。微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。 XWS%zL
aK  
Crho=RJPR  
微納制造包括微制造和納制造兩個方面： mKL<<L[  
GqaDL3Niqs  
1.微制造 _aad=BrMK  
5Iy;oZ  
有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導體制造工藝的光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)、鍵合技術(shù)、封裝技術(shù)等，這些工藝技術(shù)方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設(shè)備昂貴等問題，且只能加工結(jié)構(gòu)簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行復雜的三維微機械零件的加工;另一種是機械微加工，是指采用機械加工、特種加工及其他成形技術(shù)等傳統(tǒng)加工技術(shù)形成的微加工技術(shù)，可進行三維復雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鉆削、微沖壓、微成形等。 h_:C+)13`x  
4'g;TI^  
2.納制造 >L;eO'D  
]b7zJUz  
納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu)、器件和系統(tǒng)的制造技術(shù)，主要分為兩種方向，一種以微制造為基礎(chǔ)向其制造精度的極限逼近，達到納米加工的能力，另一種采用新物理效應對納米量級進行操控制造，納米制造包括納米壓印技術(shù)、刻劃技術(shù)、原子操縱技術(shù)等。 s.N7qO^:E  
@eD)
:Y