超快
激光由于具有超快脈沖時(shí)間和超高峰值功率的特性，當(dāng)
材料受到超快激光的作用后，材料不會(huì)因?yàn)槭軣岫刍侵苯影l(fā)生汽相蒸發(fā)。與傳統(tǒng)激光的加工方法相比，超快激光在加工領(lǐng)域具有熱影響區(qū)域小、可加工材料范圍廣、高空間分辨率、任意三維結(jié)構(gòu)等優(yōu)點(diǎn)。
@ap!3o8,9 S%iK); 熱影響區(qū)域小 EtcT:k?y tu\XuDk y 超快激光加工最顯著的特征就是熱影響區(qū)域小。對(duì)于傳統(tǒng)激光而言，由于使用的激光脈沖寬度達(dá)到納秒量級(jí)甚至更長(zhǎng)，聚焦后的光斑為微米量級(jí)，因此在加工過程中，熱擴(kuò)散現(xiàn)象非常明顯，嚴(yán)重影響加工精度。
S2$66xr# P T;{U<5 而超快激光的脈沖寬度非常窄，因此當(dāng)超快激光作用在材料表面時(shí)，它的短脈沖時(shí)間意味著能量密度非常高，能夠在非常短的時(shí)間內(nèi)將能量局部集中在材料表面上。
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$ 由于能量密度非常高，材料瞬間被加熱到極高溫度，于是材料就被以汽相形式蒸發(fā)，并且會(huì)帶走部分材料內(nèi)部的熱量，使得周圍區(qū)域的溫度變化非常小，所以周圍熱影響區(qū)域很小。
y!b2;- Dp "*bLFORkq' 可加工材料范圍廣 /HdXJL9B JWNN5#=fQ 在超快激光加工過程中，當(dāng)激光脈沖照射到材料表面時(shí)，由于其超高的峰值功率密度幾乎超過了各類材料的改性閾值，激光能量被吸收并被轉(zhuǎn)化為電子和離子的動(dòng)能。這些電子和離子在短時(shí)間內(nèi)聚集在材料表面附近形成等離子體，產(chǎn)生極高的溫度和壓力，很容易完成對(duì)各種材料的加工。因此，超快激光可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各種種類材料的加工，如金屬、非金屬、
半導(dǎo)體、陶瓷等。
Ok!P~2J " .7@ 高空間分辨率 //&3{B }F>RI jj 超快激光作用在透明介質(zhì)材料上時(shí)，在相同
波長(zhǎng)的前提下，與單
光子吸收相比，多光子吸收有顯著的空間分辨率。當(dāng)超快激光作用在透明的介電材料內(nèi)部時(shí)，只有激光作用區(qū)域附近才有機(jī)會(huì)出現(xiàn)價(jià)帶中的電子吸收的多個(gè)光子的能量大于束縛電子的電離勢(shì)的情況，此時(shí)會(huì)誘導(dǎo)材料在相應(yīng)區(qū)域發(fā)生改性。而那些處在激光作用區(qū)域但多光子吸收的能量小于束縛電子的電離勢(shì)，材料在相應(yīng)區(qū)域則不會(huì)發(fā)生改性。
eKiDc=@ w|f+OlPXq 任意三維結(jié)構(gòu) % !@E)%d0 <f>77vh0 脈沖能量超過材料改性閾值的超快激光作用在透明材料中時(shí)，
光束可以無衰減地到達(dá)透明材料內(nèi)部的焦區(qū)位置，超快激光與材料相互區(qū)域由于非線性閾值效應(yīng)，在焦點(diǎn)區(qū)域內(nèi)會(huì)誘導(dǎo)產(chǎn)生多光子吸收等非線性效應(yīng)。通過結(jié)合三維位移平臺(tái)和高倍的NA物鏡，控制超快激光進(jìn)行定位并聚焦到加工材料的內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)材料內(nèi)部任意結(jié)構(gòu)的精密微加工。
"yu{b]AU Qw0k-t0=4 由于
光學(xué)的研究發(fā)展需要，光電圈產(chǎn)生了很多相關(guān)的檢測(cè)儀器，由光研科技自主研發(fā)的光束質(zhì)量分析儀可實(shí)現(xiàn)激光光斑檢測(cè)及測(cè)試應(yīng)用，為客戶提供定制光束質(zhì)量分析一體化設(shè)計(jì)解決方案，并支持多應(yīng)用開發(fā)。通過光束分析裝置一體化設(shè)計(jì)，配套衰減方案設(shè)計(jì)，支持實(shí)時(shí)曝光及增益調(diào)節(jié)。
\l/(L5gY P.Nt jz/B 可根據(jù)客戶不同需求進(jìn)⾏模塊化定制，適用在半導(dǎo)體
激光器，固體激光器，
光纖激光器，超快激光器，激光測(cè)距等領(lǐng)域。目前已作為成熟產(chǎn)品在市場(chǎng)推廣，性價(jià)比很高，得到多個(gè)⾏業(yè)的客戶廣泛認(rèn)同。
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