帖子
勛章
關(guān)注
任務(wù)
上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專利公布 據(jù)天眼查顯示，上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”。申請日期是2022年5月19日，公布日期是2023年11月28日。  天眼查專利頁面截圖 該專利摘要顯示，本發(fā)明提供了一種投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向從物面到像面依次包括：第一透鏡組、第二透鏡組、光闌、第三透鏡組與第四透鏡組。 其中，所述第三透鏡組與所述第二透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述第四透鏡組與所述第一透鏡組關(guān)于所述光闌對稱，所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)是對稱結(jié)構(gòu)，且所述投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)中所有的透鏡組均具有正光焦度，以此可以在提高成像質(zhì)量的基礎(chǔ)上，增大曝光系統(tǒng)的視場尺寸，提升產(chǎn)率。  投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖 |
最新評論
-
qingdaocdp 2023-11-29 08:40門外漢剛學(xué)習(xí)光學(xué)，請教各位這個專利的具體意義在哪里？
-
11yy 2023-11-29 08:44上海微電子公開的專利名為“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”
-
camelots 2023-11-29 08:47
微電子投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)
-
mmttxiaoxiao 2023-11-29 09:07關(guān)注技術(shù)及成本
-
楊森 2023-11-29 09:22投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)
-
similar 2023-11-29 10:34時刻關(guān)注
-
similar 2023-11-29 10:36此專利突破創(chuàng)新點
-
宿命233 2023-11-29 11:30上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專利公布
-
dawen 2023-11-29 11:32光刻機(jī)厲害了，持續(xù)關(guān)注
-
浩然劍 2023-11-29 11:38上海微電子“投影物鏡光學(xué)系統(tǒng)及光刻機(jī)”專利公布