課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計的微光刻透鏡 7,8TMd1`M  
你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計，這將是一個好的學(xué)習(xí)例子。 ez)Ks`  
本課將給出一個學(xué)習(xí)例子: q_mxZM ->  
1. 鏡片數(shù)22片 0&b;!N!vJ  
2. 物高31mm Cud!JpL  
3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2 LafBf6wds  
4. 波長為UV G;/l[mvh,  
5. 像方晶圓尺寸是12.66mm '5~l{3Lw  
6. 總長小于1200mm B7YE+  
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這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計。首先，我們將為左半部分設(shè)計一個鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計第二個鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。 [Fv,`*/sm  
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首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下： UO!} 0'  
下面是對 DSEARCH 的輸入： @A(jo