摘要
e<iTU?eJM F^A1 'J 對于許多應用來說（例如背光、
光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導
結構中是一個重要的問題。對于這些應用，
傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行
優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的
衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
Haq 23 K _IT,>#ba 
,!sAr;Rk` _@?]!J[ 設計任務
d=lZhqY nqiy)ZN#R 
1DZGb)OU = 2My-%i 1級
參數(shù)優(yōu)化
jWP(7}U Ij#%Qu 
~a/yLI"'g yKDg
~zsh 結果-容差分析
F\,3z7s bs_I{bCu? 
\?g)jY 8&dmH& 結果-容差分析
]*):2%f H~x0-q<8 
s2w .V
O
zg8m (=k' VirtualLab Fusion一瞥
3 5|5|m a xo ^_;(; 
$2;YJjz( [DjdR_9* I VirtualLab Fusion中的工作流程
X UW~8P !H?#~{
W} 構建光柵結構
#;?z< −使用特殊
材料的光柵結構設定[用例]
Z)6bqU<LQE −傾斜光柵高級設定[用例]
nNBxT+3*i •光柵衍射效率分析
9J2% 9,^ −光柵階序分析器[用例]
LR9dQ=fHS •使用參數(shù)優(yōu)化進行光柵參數(shù)優(yōu)化
;'= !Fv •使用參數(shù)運行的
容差分析
p(f)u]1` m;Sw`nw? 
E37`g}ZS @iW I gL VirtualLab Fusion技術
h Q<" ly, d
