摘要 vo uQ.utl  
%MbjKw  
掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 C+r--"Z  
x;Dr40wD@y  

圖片:1-191209152110491.png

J%f5NSSU{6  
Q-O:L  
建模任務(wù) x}N+vK  
t wtGkkC  
{ j&|Em]  
仿真干涉條紋 UH%?{>oRh  
jDgiH
}  
%~^R Iwm  
走進(jìn)VirtualLab Fusion wxo(  
n?Gm 5##  

圖片:1-191209152K5539.png

M29[\@zL  
b |m$ W  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ;5"